真空节能阀 Energy Valve - 大连恒昇机械有限公司

工作原理How It Works動作原理

在半导体及 LED、OLED、LCD、SOLAR 产业中，真空干泵（Vacuum Dry Pump）长期连续运转，即使腔体处于待机状态也在满负荷抽气，电耗与磨损巨大。 In semiconductor and LED / OLED / LCD / solar fabs, vacuum dry pumps run continuously — even when the chamber is idle they pump at full load, wasting energy and accelerating wear.半導体およびLED・OLED・LCD・太陽電池産業では、真空ドライポンプが長時間連続運転され、チャンバー待機中もフル負荷で排気を続けるため、電力消費と摩耗が膨大です。

节能阀安装于干泵进气端，使泵在运转时不受大气压负载，从源头降低电耗、降低泵体运行温度，同时防止泵瞬间停机或断电时的颗粒倒流（Back-stream），保护腔体洁净度。 Installed at the pump inlet, the energy valve relieves the pump from atmospheric load during operation — cutting power draw and running temperature at the source, while preventing particle back-stream into the chamber on sudden pump stop or power loss.省エネバルブをポンプ吸気側に設置することで、運転中の大気圧負荷を軽減。電力消費と本体温度を根本から低減するとともに、急停止・停電時のパーティクル逆流（バックストリーム）を防ぎ、チャンバーの清浄度を守ります。

SemiconductorLEDOLEDLCDSOLAR

节能与保护效果Savings & Protection省エネ・保護効果

0%Load Lock 泵最高节电Max power saving (load-lock pump)Load Lockポンプ最大節電率

0%Process 泵最高节电Max power saving (process pump)Processポンプ最大節電率

0%+泵寿命延长Pump lifetime extensionポンプ寿命延長

0%冷却水（PCW）节约Cooling water (PCW) saving冷却水（PCW）削減

降低运行温度Lower Running Temperature運転温度の低減

实测 MB 温度 78.9°C → 57.2°C，DP Body 130.7°C → 78.2°C。轴承温度在 70°C 以上时每降低 15°C 寿命约延长一倍。Measured: MB 78.9°C → 57.2°C, DP body 130.7°C → 78.2°C. Above 70°C, every 15°C reduction roughly doubles bearing life.実測：MB温度78.9°C→57.2°C、DP本体130.7°C→78.2°C。70°C以上では15°C下がるごとにベアリング寿命が約2倍に。

防止颗粒倒流Back-stream Preventionバックストリーム防止

泵瞬间停机或断电时自动阻断，防止颗粒倒流污染腔体与管路。Automatically isolates on sudden pump stop or power-off, preventing particles from flowing back into chamber and lines.ポンプ急停止・停電時に自動遮断し、パーティクルのチャンバー・配管への逆流を防止。

减少碳排放CO₂ ReductionCO₂削減

降低电耗与冷却水消耗，直接减少企业 CO₂ 排放，助力绿色工厂指标。Lower power and cooling-water consumption directly cuts CO₂ emissions — supporting green-fab targets.電力と冷却水の消費削減により、CO₂排出を直接削減。グリーンファブ目標に貢献。

龙头企业验证Validated by Industry Leader業界大手による検証

已通过面板行业龙头企业 BOE（京东方）验证。Validated by BOE, the leading display manufacturer.ディスプレイ業界大手BOE（京東方）にて検証済み。

适配泵型号、接口规格与投资回收测算，请提供在用干泵型号与运行工况，我们将出具针对性方案。 For pump compatibility, interface specs and ROI calculation, send us your dry-pump model and operating conditions — we will prepare a tailored proposal.対応ポンプ型式・接続仕様・投資回収試算については、ご使用中のドライポンプ型式と運転条件をお知らせください。最適なプランをご提案します。