产品中心Products製品情報

半导体核心零部件 · 智能消防产品 · 精密机械代工Semiconductor core parts · Smart fire-safety products · Precision OEM半導体コア部品 · スマート消防製品 · 精密機械OEM

半导体旋转导通器(Rotary Union)Semiconductor Rotary Unions半導体用ロータリーユニオン

在旋转部件与固定部件之间传输冷却液、气体、真空等流体,保持密封性、稳定性及洁净度,应用于 PVD / CVD / CMP / IMP / ALD 核心工艺设备Transferring coolant, gas and vacuum between rotating and stationary parts with sealing, stability and cleanliness — used in PVD / CVD / CMP / IMP / ALD process tools回転部と固定部の間で冷却液・ガス・真空などの流体を伝送し、シール性・安定性・清浄度を維持。PVD/CVD/CMP/IMP/ALDコアプロセス装置に使用

Rotary union

国产化机遇与恒昇战略Localization Opportunity & Our Strategy国産化のチャンスと恒昇の戦略

  • 国内尚未形成有规模的半导体旋转导通器核心供应商,国产设备替代成为主流趋势China still lacks a large-scale core supplier of semiconductor rotary unions; localization is the mainstream trend中国国内には半導体用ロータリーユニオンの大規模コアサプライヤーが未形成。国産代替が主流トレンドに
  • 2021 年布局半导体,定向开发半导体核心配件导通器Entered the semiconductor field in 2021 with targeted rotary-union development2021年に半導体分野へ参入し、コア部品ロータリーユニオンを重点開発
  • 已完成 PVD / CMP / WET / IMP 多款进口导通器再制造及国产化替代Completed remanufacturing and localization of multiple imported PVD / CMP / WET / IMP rotary unionsPVD/CMP/WET/IMP各種輸入ロータリーユニオンの再生・国産化代替を完了
  • 已供货 300mm PVD/CMP 设备导通器,稳定供应中芯国际、长鑫存储等头部晶圆厂Supplying 300mm PVD/CMP rotary unions to leading fabs including SMIC and CXMT300mm PVD/CMP装置用をSMIC、CXMTなど大手ファブへ安定供給中
查看产品详情 →Product Details →製品詳細 →
工艺Processプロセス参考料号Reference P/N参考P/N状态Statusステータス
PVD0190-33463 / 0190-40352 / 0010-46093再制造 + 国产化替代,稳定供货Remanufactured + localized, in stable supply再生+国産化代替、安定供給中
CMP2328877-04 / E12103160再制造 + 国产化替代,稳定供货Remanufactured + localized, in stable supply再生+国産化代替、安定供給中
IMP / WET多款型号Multiple models複数モデル已完成开发验证Developed and validated開発検証済み

开发测试平台Development & Test Platforms開発テストプラットフォーム

导通器专用测试平台,覆盖压力、转速、泄漏率与寿命验证Dedicated rotary-union test rigs covering pressure, speed, leakage and lifetime validation圧力・回転数・リーク率・寿命を検証する専用テストベンチ

Test platform
Test platform
Test monitoring

真空节能阀(Energy Valve)Vacuum Energy-Saving Valve真空省エネバルブ

安装于半导体及 LED / OLED / LCD / SOLAR 产业真空干泵,最高节电 70%,已通过面板龙头 BOE 验证Installed on vacuum dry pumps in semiconductor and LED / OLED / LCD / solar fabs — up to 70% power saving, validated by BOE半導体およびLED/OLED/LCD/太陽電池工場の真空ドライポンプに設置。最大70%の節電、パネル大手BOEにて検証済み

  • Load Lock Chamber Pump 电力减少 60~70%;Process Chamber Pump 电力减少 30~35%60–70% power reduction on load-lock chamber pumps; 30–35% on process chamber pumpsLoad Lockチャンバーポンプで60〜70%、Processチャンバーポンプで30〜35%の節電
  • 泵寿命增加 50% 以上:降低转子负载与运行温度(MB 78.9°C→57.2°C,DP Body 130.7°C→78.2°C)Pump lifetime +50%: lower rotor load and running temperature (MB 78.9°C→57.2°C, DP body 130.7°C→78.2°C)ポンプ寿命50%以上延長:ローター負荷と運転温度を低減(MB 78.9°C→57.2°C、DP本体 130.7°C→78.2°C)
  • 冷却水(PCW)节约 50%50% saving on pump cooling water (PCW)冷却水(PCW)50%削減
  • 防止 Back-stream:避免泵瞬间停机或断电导致的颗粒倒流Back-stream prevention: avoids particle backflow on sudden pump stop or power-offバックストリーム防止:ポンプ急停止・停電時のパーティクル逆流を防止
  • 减少企业 CO₂ 排放,绿色工厂改造优选部件Cuts CO₂ emissions — a preferred component for green-fab retrofitsCO₂排出を削減。グリーンファブ改修に最適な部品
查看产品详情 →Product Details →製品詳細 →
Energy valve
Energy valve design

CMP / CVD 其它核心零配件Other CMP / CVD Core PartsCMP/CVDその他コア部品

300mm CMP AMAT 设备关键配件再制造与国产化替代;CVD Heater Block 国产化配套生产Remanufacturing and localization of key parts for 300mm AMAT CMP tools; localized CVD heater blocks300mm AMAT CMP装置キーパーツの再生・国産化代替;CVDヒーターブロックの国産化生産

Pad conditioner

Pad Conditioner DDF3

料号 0010-28527,CMP Reflexion 关键配件替代P/N 0010-28527, CMP Reflexion key part replacementP/N 0010-28527、CMP Reflexionキーパーツ代替

Gear assy

Gear Assy / Sealed Bearings

料号 0010-19312、0010-33061 等P/N 0010-19312, 0010-33061, etc.P/N 0010-19312、0010-33061など

Wafer roller

Brush Wafer Roller Assy

料号 0010-25973 / 0010-25969P/N 0010-25973 / 0010-25969P/N 0010-25973 / 0010-25969

Heater block

CVD Producer Heater Block

料号 0040-85475 等,新型设计预防 arcing 缺陷P/N 0040-85475 etc.; new design prevents arcing defectsP/N 0040-85475など。新設計でアーク不良を防止

查看全部零配件详情 →All Parts Details →全部品の詳細 →

智能消防产品Smart Fire-Safety Productsスマート消防製品

15 年以上动密封设计生产经验,3C 及防爆认证15+ years of dynamic-sealing design and production, CCC and explosion-proof certified15年以上の動的シール設計・製造経験、3C・防爆認証取得

Fire monitor
  • ZDMP 系列大流量喷淋装置 / ZDMS 系列自动消防水炮ZDMP high-flow sprinkler systems / ZDMS automatic fire monitorsZDMPシリーズ大流量スプリンクラー / ZDMSシリーズ自動消火砲
  • PSKD 系列电控消防水炮 / PLKD 系列电控两用消防水炮PSKD electric fire monitors / PLKD dual-purpose electric fire monitorsPSKDシリーズ電動消火砲 / PLKDシリーズ電動兼用消火砲
  • ZDMS 自动防爆消防炮 / BU 系列防爆产品 / HS-ZB 系列隔爆电机 / CY 系列车用炮ZDMS explosion-proof monitors / BU explosion-proof products / HS-ZB flameproof motors / CY vehicle-mounted monitorsZDMS自動防爆消火砲 / BUシリーズ防爆製品 / HS-ZBシリーズ耐圧防爆モーター / CYシリーズ車載砲
  • 智慧消防产品持续研发布局Ongoing R&D roadmap for smart fire-safety productsスマート消防製品の継続的な研究開発
访问消防产品专站 →Visit Fire Products Site →消防製品サイトへ →

精密机械代工Precision Machining OEM精密機械加工OEM

日式精加工品控体系,服务国内外知名企业Japanese-style precision QC system serving well-known customers at home and abroad日本式精密加工品質管理体制で国内外の有名企業にサービスを提供

Machined part
Machined part

代工客户包括:OEM customers include:OEM取引先:

Honeywell(美国USA米国 冰山松洋压缩机(大连)Bingshan-Sanyo Compressor (Dalian)氷山松洋コンプレッサー(大連) 威海广泰空港设备Weihai Guangtai Airport Equipment威海広泰空港設備 营口新山鹰报警设备Yingkou Xinshanying Alarm Equipment営口新山鷹警報設備 合肥科大利安安全技术Hefei USTC Li'an Safety Technology合肥科大利安安全技術 营口世纪电子仪器Yingkou Century Electronic Instruments営口世紀電子計器 大连希尔德安全技术Dalian Shield Safety Technology大連希爾徳安全技術

提供料号与工况,获取国产化替代评估Send us your part number and working conditions for a localization assessmentP/Nと使用条件をお知らせください。国産化代替の評価をいたします

样品评估 → 再制造 / 逆向开发 → 测试验证 → 批量供货Sample evaluation → remanufacturing / reverse development → testing → volume supplyサンプル評価 → 再生/リバース開発 → テスト検証 → 量産供給

立即咨询Contact Usお問い合わせ