半导体旋转导通器 - 大连恒昇机械有限公司

产品作用What It Does製品の役割

旋转导通器在半导体设备中扮演关键角色：在旋转部件与固定部件之间传输流体（冷却液、气体、真空等），同时保持密封性、稳定性及洁净度。一旦导通器泄漏或颗粒超标，将直接影响腔体环境与晶圆良率。 The rotary union plays a critical role in semiconductor tools: it transfers fluids (coolant, gas, vacuum) between rotating and stationary parts while maintaining sealing integrity, stability and cleanliness. Leakage or particle excursion directly impacts chamber environment and wafer yield.ロータリーユニオンは半導体製造装置において重要な役割を担います。回転部と固定部の間で流体（冷却液・ガス・真空など）を伝送しながら、シール性・安定性・清浄度を維持します。リークやパーティクルの超過はチャンバー環境とウェハー歩留まりに直結します。

主要应用于 PVD、CVD、CMP、IMP、ALD 等核心工艺设备的旋转主轴部位，是设备维保中更换频率较高、进口依赖度较高的核心部件之一。 It is used at the rotating spindle of PVD, CVD, CMP, IMP and ALD process tools — one of the most frequently replaced and most import-dependent core parts in tool maintenance.PVD・CVD・CMP・IMP・ALDなどコアプロセス装置の回転主軸部に使用され、装置メンテナンスにおいて交換頻度が高く、輸入依存度の高いコア部品の一つです。

PVDCVDCMPIMPALDWET300mm

两种服务模式Two Service Models2つのサービスモデル

① 再制造（维修）① Remanufacturing (Repair)① 再生（リペア）

对用户在用的进口导通器进行拆解评估、密封件更换、精度恢复与整机测试，恢复至可用状态。相比采购原厂新品，交期更短、成本显著降低，并可结合失效分析改善薄弱环节。 We disassemble, assess and rebuild imported rotary unions in service — replacing seals, restoring precision and full-unit testing. Compared with OEM new parts: shorter lead time, significantly lower cost, plus failure analysis to reinforce weak points.お客様が使用中の輸入ロータリーユニオンを分解評価し、シール交換・精度回復・完成品テストを行い、使用可能な状態に復元します。純正新品の購入に比べ納期が短く、コストを大幅に削減でき、故障解析による弱点改善も可能です。

② 国产化替代（新品）② Localized Replacement (New)② 国産化代替（新品）

基于 15 年以上动密封设计生产经验，对进口导通器进行正向设计与材料工艺优化，提供完全国产的替代新品，已在头部晶圆厂批量稳定使用。 Built on 15+ years of dynamic-sealing design experience, we deliver fully localized new units with forward design and optimized materials/processes — in volume production at leading fabs.15年以上の動的シール設計・製造経験に基づき、順設計と材料・工程の最適化による完全国産の代替新品を提供。大手ウェハーファブで量産・安定使用されています。

已供货 300mm PVD / CMP 半导体设备旋转导通器再制造及国产化替代，稳定供应中芯国际、长鑫存储等头部晶圆厂客户；PVD / CMP / WET / IMP 多款进口导通器完成开发验证。详细技术参数（转速、压力、通道数、介质、寿命数据）请联系我们获取。 300mm PVD / CMP rotary unions (remanufactured and localized) are in stable supply to leading fabs including SMIC and CXMT; multiple imported PVD / CMP / WET / IMP models have been developed and validated. Contact us for detailed specifications (speed, pressure, channels, media, lifetime data).300mm PVD/CMP装置用ロータリーユニオンの再生品・国産化代替品をSMIC、CXMTなど大手ウェハーファブへ安定供給中。PVD/CMP/WET/IMPの複数輸入モデルの開発検証を完了しています。詳細仕様（回転数・圧力・流路数・媒体・寿命データ）はお問い合わせください。

已覆盖料号（部分）Covered Part Numbers (Partial)対応パーツナンバー（一部）

工艺Processプロセス	参考料号Reference P/N参考P/N	服务Serviceサービス	状态Statusステータス
PVD	0190-33463	再制造 / 国产化新品Reman. / localized new再生／国産化新品	批量供货中In volume supply量産供給中
PVD	0190-40352	再制造 / 国产化新品Reman. / localized new再生／国産化新品	批量供货中In volume supply量産供給中
PVD	0010-46093	再制造 / 国产化新品Reman. / localized new再生／国産化新品	批量供货中In volume supply量産供給中
CMP	2328877-04	再制造 / 国产化新品Reman. / localized new再生／国産化新品	批量供货中In volume supply量産供給中
CMP	E12103160	再制造 / 国产化新品Reman. / localized new再生／国産化新品	批量供货中In volume supply量産供給中
IMP / WET	多款型号（详询）Multiple (on request)複数モデル（お問い合わせ）	再制造 / 国产化开发Reman. / localization再生／国産化開発	已完成开发验证Developed & validated開発検証済み

* 料号仅用于型号对应识别；未列出的型号可提供样品评估。* Part numbers are for model identification only; unlisted models can be evaluated by sample.※ パーツナンバーは型式識別用です。記載のない型式もサンプル評価が可能です。